L'activité de MCSE concerne les produits consommables, les sous-ensembles de systèmes de dépôt, les équipements de dépôts ainsi que les appareils de caractérisation des couches minces

Substrats
Silicium,
Germanium,
Silice, Verre,
Saphir

Cathodes pour équipement de pulvérisation cathodique
Cathodes Magnétron DCM/RFM, Mode pulsé
Configuration circulaire et rectangulaire
Compatibilité Vide et Ultravide
Développement spécifique selon critères retenus:
matériaux magnétiques

haute uniformité
haut rendement

www.thfc.de
www.ionx.de

Matériaux de déposition
Métaux et alliages
Oxydes, nitrures, carbures, fluorures
Composés intermétalliques
Mélange pressé à chaud

pour la réalisation de :

Charges d'évaporation
Cibles de pulvérisation cathodique
Cibles pour ablation laser

Services :
Brasure des cibles sur support
Fabrication des supports
Creusets pour évaporation
Raffinage métaux précieux

Eléments chauffants
Graphite
PG, Graphite pyrolytique
PNB/PG/PBN

Couches minces
et caractérisations


Couches minces : réalisation de couches minces selon spécification par :
Evaporation
Pulvérisation cathodique

Equipements Plasma

GRAVURE

- RIE SI 591
- ICP SI 500

gravure par procédé RIE et/ou procédé ICP
de -150° à plus de 200°C selon options

CVD
Dépôt CVD basse température (<100°C)
de matériaux diélectriques (SiO2, Si3N4, etc.). SI 500 ICPECVD

Caractérisation
Mesures d'épaisseurs et d'indices de couches minces de matériaux transparents.

a/ Réflectomètrie
Système FTP Advanced
RM 1000-2000
   
b/ Ellipsométrie  
1/ mono ou bi-longueurs d"ondes
2/ spectroscopique
de 190 nm à 2300 nm selon options
3/ in-situ
installation sur équipement de dépôt ou de gravure
4/ semi - automatique et spectroscopique
SENDURO de 290 à 850 nm
5/ Spectroscopique infrarouge Sendira

Pour plus d'information sur les matériels : www.sentech.de

MCSE - 13, rue Robert Vermassen - BP 10002 - 95111 SANNOIS CEDEX - FRANCE // Phone : 01 34 15 28 22 - Fax : 01 34 15 28 86
SARL au capital de 49000 € - RCS Pontoise B 391 183 191 - SIRET 391 183 191 000 33 - APE 7490 B
Distributeur matériaux en céramique, optique, couches minces, fours HARPER.
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